到了二十世纪40年代，美国的希尔用消像散器补偿电子透镜的扭转过失称性，使电子显微镜的分辨率有了新的冲破，慢慢达到了现代水平。在中国，1958年研制胜利透射式电子显微镜，其分辨率为3纳米，1979年又制成分辨伎俩为0.3纳米的大型电子显微镜。电子显微镜的分辨伎俩虽已远胜于光学显微镜，但电子显微镜因需在真空条件下工作，所以非常难调查活的生物，并且电子束的照射也会使生物样品受到辐照损伤。其他的问题，如电子枪亮度和电子透镜质量的进步等问题也有待继续研究。

　　它与透过样品的电子束入射锥角和波长相关。可见光的波长约为300～700纳米，而电子束的波长与加快电压相关。当加快电压为50～100千伏时，电子束波长约为0.0053～0.0037纳米。因为电子束的波长远远小于可见光的波长，所以即使电子束的锥角仅为光学显微镜的1％，电子显微镜的分辨本领仍远远优于光学显微镜。