测量显微镜的测量可以是单轴、维平面的测量，也可以是维空间坐标的测量,测量时先对焦,取点,后计较处分。读数来自于标尺即光栅系统,对焦对准依靠光学系统,另有个干脆影响测量效果和精度的照明光源,因为,基于影像技巧测量的仪器,如果被测件不可以被有效正确的照明,则测量的后果鲜明要偏离其真实尺寸。除前述因素外,情况前提也是限制测量精度不行忽视的因素。基于上述分析,可以综合出以下几个方面的误差来源: 　　 　　光栅计数尺的误差; 　　 　　工作台挪动时存在的直线度、角摆带来的误差; 　　 　　工作台两测量轴垂直度带来的误差; 　　 　　显微镜光轴与工作台面不垂直带来的误差; 　　 　　测量室温度偏离校准要求的参考温度带来的误差; 　　 　　光源照明前提的变更带来的对焦和对准误差。 　　 　　在这几种因素中,前项误差,是硬件误差,在仪器生产历程当中曾经形成并固定下来,般无法转变;温度影响带来的误差,必须通过控制测量室的温度和等温历程来减小其影响。后项则常被忽视,而在实际测量中,当光源照明前提转变时,干脆影响被测工件的照明效果和影像品质,要紧是因为测量显微镜的图像是通过CCD汲取,只管CCD具有自动调节增益的功效,但当亮度过大时即落空调节功效,导致被测工件影像在收缩,当亮度过低时,工件影像反而变大。这种影响,关于测量具有重复图形布局之间的间距时,只要全部测量历程当中照明前提保持不变,其影响可以纰漏,因为每个重复图形布局都同时在变大或变小,间距的测量计较干脆了影像变形的影响,如测量玻璃尺、网格板刻线间距;除了这种特殊景遇外,如测量圆的直径、工件的长度和宽度,都将带来明显的误差。在以影像测量工件样品布局的几何尺寸时,光照明前提的转变将会干脆影像被测尺寸,如线宽、圆直径及其余几何形位小吏,因次要确保取到的界限点是产品需求检验的界限,在高精度测量中,这是导致测量不确定度增大的环节因素,应惹起足够正视。