1947年法国技术工程师MaxKnoU和ErnstRuska制造制造出了全世界第一台台散射透射电镜，散射电子显微术是使用透过塑料薄膜试件的离子束发展显像或微区剖析的一种电子显微术。可得到 高宽比片面化的消息内容，是剖析分子布局、结晶不一致性、微区成份的概括性技术性。

　　1952年美国技术工程师制造制造岀了一台扫描仪透射电镜(SEM)O扫描仪电子显微术离子束以光纤传感器状方法直射试件上层，剖析出射电子器件和试件上层化学物资互相影响造成的种种各样消息内容来科学研究试件上层微区外貌、成份和晶体学特性的一种电子显微技术性。

　　1983年IBM企业苏黎世试验室的俩位生物学家创造发现了说白了的扫描仪地道施工光学显微镜。这类光学显微镜比透射电镜更超前的，它彻底落空传统式光学显微镜的界说。地道施工扫描仪显微镜术是使用量子科技地道效应的上层科学研究技术性。能即时、原点观查试品*上层的局域网构造消息内容，能做到弹性散射的高像素⑴。它沒有摄像镜头，使用一根探头，探头和物件中间再加工作电压。